主要配置
蒸发腔体 | 蒸发腔体为304不锈钢,并有观察窗 |
真空泵 | 配备冷凝泵或分子泵和无油机械泵 |
真空阀门 | 气动控制高真空插板阀 |
蒸发源 | 多坩埚电子束蒸发源 |
样品室 | 蒸发腔体为304不锈钢,并有观察窗 |
样品台 | 顶部安装旋转的样品台或侧面安装的转角样品台 |
膜厚检测 | 晶振膜厚监控 |
真空测量 | 宽量程真空计用于测量真空和粗抽计 |
主要技术指标
极限真空度 | 优于fkh-8托 |
装样能力 | 一个最大8英寸的平板基片或多个小基片 |
蒸发速率分辨率 | 0.05 Angstroms/sec |
膜厚分辨率 | 0.02 Angstroms |
技术资料:技术资料包含产品说明书、电镜图、成分表、材质单、粒度分析报告、技术方案、工艺流程、技术指标、检测报告等,请您联系销售工程师获取。


一、付款方式:
备注:如需其他方式付款,请联系销售顾问,由公司出具盖有公章的相关付款说明方可执行。
二、售后服务
公司具有完善的售后服务体系为您服务,不管是您购买了我公司的产品还是咨询我公司产品,我公司客服及技术人员都有义务为你全方位服务,如若您在咨询或者购买产品过程中有任何不好解决的问题,可直接联系我公司总办热线:4008841388。
三、信息保密:
在客户向本公司购买或咨询过程中提及的商业秘密,包括但不限于:技术方案、工艺流程、技术指标、检测报告、实验数据、试验结果、技术文档、相关的函电,等等。
我公司承诺:
1).严格保护以上商业秘密,并采取所有保密措施和制度保护该秘密(包括但不仅限于本承诺外双方签订保密协议或其他措施);
2).不泄露任何商业秘密给任何第三方;
3).除用于履行与对方的合同之外,任何时候均不得利用该秘密;
4).不复制或通过反向工程使用该秘密。我方会与能接触该商业秘密的员工、代理等签订一份保密协议。
四、其他
如以上解答都未能解答您的疑问,请通过以下方式联系我们:
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